記者從電子科技大學(xué)獲悉，由該校牽頭申報的國家重點研發(fā)計劃“戰(zhàn)略性先進電子材料”專項項目“高性能無源敏感薄膜材料Si基異質(zhì)異構(gòu)集成方法及傳感器芯片研發(fā)”獲批立項。該項目由電子科大微電子與固體電子學(xué)院張萬里教授作為項目負責(zé)人，聯(lián)合中國電科26所、中國電科24所，中科院新疆理化所、中科院上海微系統(tǒng)所、西安微電子所、華中科技大學(xué)、蘇州大學(xué)以及貴州雅光電子等10余家科研院所、大學(xué)、企業(yè)共同研制。據(jù)悉，這是該校牽頭獲得的首個上億元的國家重點研發(fā)計劃項目，項目總預(yù)算達11705萬元。
據(jù)了解，該項目從傳感器芯片領(lǐng)域的關(guān)鍵科學(xué)問題和重大共性關(guān)鍵技術(shù)出發(fā)，研究高性能無源敏感薄膜材料的制備方法和傳感器與集成電路的集成技術(shù)，實現(xiàn)硅基晶圓上無源敏感薄膜的可控制備和傳感器芯片的集成加工，研制出磁阻、紅外氣體、海洋測溫、液體黏度等硅基傳感器芯片，并在工業(yè)控制、海洋水文、安全生產(chǎn)等領(lǐng)域示范應(yīng)用。“該項目的立項，體現(xiàn)了我校在電子薄膜材料及器件集成技術(shù)等領(lǐng)域的能力和實力，將進一步提升我校材料、器件研究水平，打通‘材料制備－器件集成－系統(tǒng)應(yīng)用’全鏈條。”據(jù)該校宣傳部相關(guān)負責(zé)人介紹，該研究成果將在促進傳感器產(chǎn)品升級換代，助推新興產(chǎn)業(yè)、推動軍民融合和培養(yǎng)電子材料與器件復(fù)合人才等方面產(chǎn)生顯著效益。
